用語説明

高精度微小アルミナハニカム構造

数十nm(1nmは100万分の1mm)オーダの微小な孔が高い精度で大面積に規則的に並んだ製造技術。

電子ビーム露光により高精度につくられた型をアルミ板表面にプレスし,その跡(くぼみ)を開始点として陽極酸化という現象を起こさせることで精度の高い孔の配置を実現するもの。これにより形成されたハニカム構造は,孔と孔の間隔(同期)が50~500 nmの間で自由に設定可能という高い規則性およびその制御性を実現しているだけでなく,孔の径(周期により変化するが最小で20 nm)に対する深さの比が100以上,孔の内壁面は原子オーダの平滑性というこれまでになかった形状的特徴を持っている。