用語説明

スパッタ蒸着

真空中で気体に高電界を印可すると,放電によりプラズマが生じ,気体はイオン化される。イオン化された気体を電界により加速し,物体(ターゲット)に衝突させると,物体(ターゲット)の原子・分子が弾き出される。弾き出された原子・分子を堆積させ薄膜を作製する方法をスパッタ蒸着という。