LSIをつくるときの線幅と線間隔の決定をいう。マイクロプロセッサはシリコン結晶でできたウエハと呼ばれる基板の上に電子回路をつくり込み，それらを配線してつくられている。そのときの配線ルールによって，どれだけの回路を集積できるかが決まる。１mmとは1,000分の１mm。配線ルールが細かいほど集積度が高くなる。