用語説明

リフトオフ法

パターン形成法の一種であって,所望のパターンからなるフォトレジストパターンを形成しておき,この上に真空蒸着法やスパッタ法で膜を形成した後,フォトレジストを除去して所望のパターンを形成する方法。