用語説明

フォトリソグラフィ

電子回路や光導波路の精密図形(パターン)を写真技術を応用して平面基板上に形成する技術。感光性樹脂を塗布した基板にパターンを描いたフォトマスクを近接させ,紫外線を照射(露光)してパターンを基板に転写し,エッチングにより基板表面を加工する。