用語説明

PLCプラットフォーム

平面基板上に光の通路(光導波路)を張り巡らせ,光回路を形成した平面光波回路の一部に光素子やLSIを搭載できる機能や電気配線を組み込んだ構造基盤。

従来のPLCの受動回路を中心とした機能にLDやPD等の光能動素子を実装するための素子搭載機能と,シリコン(Si)基板の持つ放熱効果および電気配線の基板として機能を付加したもので,より高機能な光集積回路を実現できる(図1)。

作製工程は,石英系ガラス膜形成プロセスとガラス膜微細加工プロセスの組み合わせからなる通常のPLC作製法と基本的に同じであるが,素子搭載部としてPLC上にSiテラス部(PLCプラットフォーム)を形成する工程が新たに加わる。Siテラス部は,Si自身が熱伝導率が高いことから,発熱する半導体レーザや電気回路(LSI等)を搭載するうえで放熱が良いという特長がある(図2)。

図1_PLCプラットフォームの基本構成図2_PLCプラットフォームの作製工程